yarı iletkenler için silikon şişirilebilir conta

Yarı iletken ekipmanlar için silikon şişirilebilir conta genellikle yüksek saflıkta, düşük salınımlı silikon şişirilebilir contadır (bazıları kumaş takviye katmanlarına sahiptir). Bu contalar yüksek saflıkta silikon kauçuktan (metil vinil silikon kauçuk gibi) yapılmıştır, yarı iletken temiz oda standartlarını karşılar ve düşük gaz salınımına, yüksek ve düşük sıcaklıklara (-60°C~230°C) karşı dirence ve plazma/kimyasal solvent korozyonuna karşı dirence sahiptir. Bazı modellerde, basınç ve yırtılma direncini arttırmak için cam elyafı/aramid kumaş takviye katmanları bulunur.

Yüksek saflıkta, düşük salınımlı silikon kauçuk (ISO 14644 temiz oda standartlarıyla uyumlu) kullanan bu Şişirilebilir conta, uçucu maddeler ve parçacık dökülmesi içermez, levha kirlenmesini veya proses ortamına müdahaleyi önler. -60°C ila 230°C sıcaklık aralığıyla, yüksek sıcaklıkta pişirme ve düşük sıcaklıkta soğutma koşulları için uygundurlar ve plazma aşındırma ve kimyasal buhar biriktirme gibi işlemlerde aşındırıcı ortamlara karşı dayanıklıdırlar.

Çalışma sırasında, contalar şişirildiğinde hızla genişler, ekipman kapılarına, vakum odası arayüzlerine ve diğer önemli bileşenlere karşı sıkı bir şekilde sızdırmazlık sağlayarak yüksek hava geçirmezlik (kaçak oranı ≤10⁻⁹ Pa・m³/s) elde eder ve stabil vakum/inert ortamlar sağlar. Sönme durumunda esnek bir şekilde büzülürler ve sık açma-kapama veya bakım işlemlerini etkilemezler. Yerleşik kumaş takviyesine sahip modeller yırtılma direncini artırarak onları levha transfer boşlukları gibi dinamik sızdırmazlık senaryoları için uygun hale getirir.

Bu contalar, yarı iletken ekipmanların temizlik, sızdırmazlık ve korozyon direnci açısından sıkı gereksinimlerini karşılar ve fotolitografi, aşındırma, biriktirme ve levha temizleme gibi kritik ekipmanlarda yaygın olarak kullanılır ve gelişmiş proses stabilitesine ve verime katkıda bulunur.